基板检测装置、基板检测方法以及基板处理单元制造方法及图纸

本发明专利技术涉及基板检测装置,即使在收纳容器的形状未被规格化的情况或者基板的形状为方形基板的情况中的任一情况下，也能够检测基板，容易地获取基板信息。该基板检测装置具备：载置部，载置供多个基板沿上下方向排列收纳的收纳容器；传感器保持部，与载置部相对升降；升降驱动部，使载置部与所述传感器保持部相对升降；多个传感器，在与上下方向相交的方向上分离配置在所述传感器保持部，分别检测容纳于收纳容器的基板的端部的不同的部分；控制部，驱动升降驱动部，使载置部与传感器保持部相对升降，并根据多个传感器对基板的端部的检测结果获取收纳容器内的基板信息。获取收纳容器内的基板信息。获取收纳容器内的基板信息。

【技术实现步骤摘要】
基板检测装置、基板检测方法以及基板处理单元


[0001]本专利技术涉及基板检测装置、基板检测方法以及基板处理单元。

技术介绍

[0002]已提出有一种基板检测装置，检测在收纳容器中沿上下方向排列而被收纳的基板并获取收纳容器内的基板信息(例如，参照专利文献1)。专利文献1的基板检测装置检测容纳在收纳容器中的圆形的基板。该检测装置使用由投光部与受光部构成的传感器，沿水平方向夹持圆形的基板的一部分从而检测基板。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开第2009
‑
200444号公报

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的技术问题
[0007]由于专利文献1的基板检测装置具有检测圆形的基板的构成，因此在基板为矩形状的方形基板的情况下，需要拓宽投光部与受光部的间隔。例如，为了检测容纳在收纳容器的方形基板，在收纳容器内需要用于供投光部及受光部插入的空间，结果导致收纳容器的大型化。此外，在收纳容器未规格化的情况下，有可能使用没有供投光部及受光部插入本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板检测装置，其特征在于，具备：载置部，载置供多个基板沿上下方向排列收纳的收纳容器；传感器保持部，与所述载置部相对地升降；升降驱动部，使所述载置部与所述传感器保持部相对地升降；多个传感器，在与上下方向相交的方向上分离配置于所述传感器保持部，分别检测容纳于所述收纳容器的所述基板的端部的不同的部分；控制部，驱动所述升降驱动部，使所述载置部与所述传感器保持部相对地升降，并根据所述多个传感器对所述基板的端部的检测结果获取所述收纳容器内的基板信息。2.如权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，所述多个传感器沿水平方向或大致水平方向分离配置于所述传感器保持部。3.如权利要求2所述的基板检测装置，其特征在于，所述传感器保持部具备维持部件，用于维持所述多个传感器的水平方向或大致水平方向的位置。4.如权利要求1～3的任一项所述的基板检测装置，其特征在于，所述传感器为光学式反射型传感器。5.如权利要求1～4的任一项所述的基板检测装置，其特征在于，所述控制部基于所述载置部与所述传感器保...

【专利技术属性】
技术研发人员：稻尾吉浩，泉刚士，
申请(专利权)人：东京应化工业株式会社，
类型：发明
国别省市：