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文档序号:31228233
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本发明公开一种波导结构,包括介电层、多层线路层、多层绝缘层以及导体连接层。介电层具有开口。线路层配置于介电层上。绝缘层与线路层交替堆叠。导体连接层以垂直于线路层的方向覆盖开口的外壁且连接位于开口相对两侧的至少二层线路层。至少导体连接层与部分...
该专利属于旭德科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过旭德科技股份有限公司授权不得商用。
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