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三维半导体装置及其制造方法制造方法及图纸
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文档序号:31224477
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本发明提供一种三维半导体装置及其制造方法,所述三维半导体装置包括第一堆叠结构、第一栅介电层、第一半导体层、第一沟道层、第一源极区与第一漏极区及第一可变电阻式随机存取存储器单元。第一堆叠结构位于衬底上,所述第一堆叠结构包括第一绝缘层与第一栅极...
该专利属于华邦电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华邦电子股份有限公司授权不得商用。
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