下载三维半导体装置及其制造方法的技术资料

文档序号:31224477

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本发明提供一种三维半导体装置及其制造方法,所述三维半导体装置包括第一堆叠结构、第一栅介电层、第一半导体层、第一沟道层、第一源极区与第一漏极区及第一可变电阻式随机存取存储器单元。第一堆叠结构位于衬底上,所述第一堆叠结构包括第一绝缘层与第一栅极...
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