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本实用新型提供了一种用于电子级三氟化氯的精馏装置，包括：低沸塔以及高沸塔；所述低沸塔从下到上依次包括第一热端、第一低沸塔填料段、设置在所述第一低沸塔填料段外表面的第一防护层、第二低沸塔填料段、设置在所述第二低沸塔填料段外表面的第二防护层以及...
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