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本发明公开了一种涉及微电子机械系统技术的横向驱动微机械式可变电容器，由上电极板和下电极板组成，下电极板设在绝缘层上，在上电极板上连接有微执行器。由于本发明将上电极板连接于微执行器，而微执行器可以驱动上电极板作横向平动，由此改变上、下电极板之...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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