横向驱动微机械式可变电容器制造技术

本发明专利技术公开了一种涉及微电子机械系统技术的横向驱动微机械式可变电容器，由上电极板和下电极板组成，下电极板设在绝缘层上，在上电极板上连接有微执行器。由于本发明专利技术将上电极板连接于微执行器，而微执行器可以驱动上电极板作横向平动，由此改变上、下电极板之间的交叠面积，使电容的大小发生改变，再由于交叠面积的改变与电容大小的改变为线性关系，故微执行器所产生的位移与电容变化量之间呈线性关系，具有线性度好的优点。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种微电子机械系统中使用的电容器，尤其是涉及一种横向驱动微机械式可变电容器。
技术介绍
微机械式可变电容器一般都是垂直于衬低方向纵向驱动的一个上电极板和固定的下电极板构成，当在两个电极板之间加上驱动电压，静电吸引力是的两个电极板之间的距离减小，这种设计的缺点是电容的变化和上电极板的位移不是线性关系，因此不利于精确控制，另一种横向驱动微机械式可变电容器是利用高宽深比鹿蚀工艺制备梳状电极，利用静电力驱动一组电极横向运动，这种横向驱动微机械式可变电容器由于采用高宽深比刻蚀，因此制造工艺比较复杂。三、技术方案技术问题本专利技术提供一种制造工艺简单且位移和电容变化量的线性度好的横向驱动微机械式可变电容器。技术方案本专利技术是一种涉及微电子机械系统技术的横向驱动微机械式可变电容器，由上电极板和下电极板组成，下电极板设在绝缘层上，在上电极板上连接有微执行器。有益效果①由于本专利技术将上电极板连接于微执行器，而微执行器可以驱动上电极板作横向平动，由此改变上、下电极板之间的交叠面积，使电容的大小发生改变，再由于交叠面积的改变与电容大小的改变为线性关系，故微执行器所产生的位移与电容变化量之间呈线性关系，具有线性度好的优点。②本专利技术的电极板采用条形电极板后，上下两层电极板之间的牺牲层很容易腐蚀去除，整个制作只需要表面微机械加工技术就可以完成，与当前的CMOS工艺兼容。③本专利技术把多条条形电极板平行排列并相互连接构成条形电极阵列，条形电极的数目由实际应用需要的电容值决定，且条形电极的数目不影响整个可变电容器的可控性。四附图说明图1是本专利技术结构示意图。图2是本专利技术实施例的结构俯视图。图3是本专利技术实施例的结构剖视图。五、实施方案实施例1本专利技术是一种涉及微电子机械系统技术的横向驱动微机械式可变电容器，由上电极板1和下电极板2组成，下电极板2设在绝缘层3上，在上电极板1上连接有微执行器4，上、下电极板1和2为条形电极板，在上电极板1的两端对称连接有微执行器。实施例2本专利技术是一种涉及微电子机械系统技术的横向驱动微机械式可变电容器，由上电极板1和下电极板2组成，下电极板2设在绝缘层3上，在上电极板1上连接有微执行器4，上电极板1由多条条形电极板平行排列并相互连接，上电极板1由两端顶角对称连接有微执行器，上述微执行器可采用热执行器，热执行器由热臂41和冷臂42组成，热臂41和冷臂42的一端固定在衬底上，另一端与输出臂43相连，该输出臂43与上电极板1相连，当向热执行器施加驱动电压，通过热臂41和冷臂42的电流产生焦耳热导致热臂41和冷臂42的温度都发生变化，从而使热臂41和冷臂42的长度发生变化，由于两者的长度改变量不相同，最终使输出臂43带动上电极板做横向移动。本专利技术的工作原理如下当平行板电容器的交叠面积改变时，电容的大小也随之改变。本专利技术中的微机械可变电容器的结构由上、下电极板和微执行器或微执行器阵列组成。在衬底的表面的绝缘层上是固定不动的下电极板，在上、下电极板之间是牺牲层腐蚀后的空隙。与上点极板连接的是微执行器或微执行器阵列，用来推动上电极板横向运动，从而改变上下极板的交叠面积。一般微执行器阵列只能提供10微米左右的横向位移，为了利用10微米以内的位移获得尽可能大的横向位移，本专利技术利用条形的电极板组成电极板阵列。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种涉及微电子机械系统技术的横向驱动微机械式可变电容器，由上电极板（１）和下电极板（２）组成，下电极板（２）设在绝缘层（３）上，其特征在于在上电极板（１）上连接有微执行器（４）。

【技术特征摘要】
1.一种涉及微电子机械系统技术的横向驱动微机械式可变电容器，由上电极板(1)和下电极板(2)组成，下电极板(2)设在绝缘层(3)上，其特征在于在上电极板(1)上连接有微执行器(4)。2.根据权利要求1所述的横向驱动微机械式可变电容器，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘清惓，黄庆安，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：84[中国|南京]