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本发明提供了一种纳米复合高介电常数铝氧化膜生长技术，该技术首先在铝箔表面预化学沉积一层高介电常数阀金属介质膜，将其调整到纳米尺度，利用材料在进入纳米尺度后所表现出来的纳米介电效应，获得高介电常数阀金属介质膜，然后通过该介质膜与铝氧化膜复合，...
该专利属于电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学授权不得商用。

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