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一种半导体硅片用冲洗设备制造技术
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文档序号:31209633
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本实用新型涉及半导体技术领域,具体是涉及一种半导体硅片用冲洗设备,包括超声波冲洗机,其顶端设有盖子,所述盖子的中部开设有第一矩形通孔,盖子的顶部设有两个门体和至少有两个伸缩机构,直线驱动装置,通过龙门架设置在盖子的顶部,并且所述直线驱动装置...
该专利属于深圳市豪林电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市豪林电子有限公司授权不得商用。
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