温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供了一种缺陷检测装置，包括电性测试部，用于对晶圆进行电性测试；表面缺陷检测部，与所述电性测试部相连接，用于检测完成电性测试的晶圆是否存在表面缺陷；装载传送部，与所述电性测试部和所述表面缺陷检测部相连接，用于将完成电性测试的晶圆从...
该专利属于合肥晶合集成电路股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥晶合集成电路股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。