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本实用新型提供一种化学机械研磨装置，所述化学机械研磨装置包括一检测单元，所述检测单元安装于研磨平台朝向研磨头的表面上，通过所述检测单元，可实现实时的检测化学机械研磨过程中的晶圆是否从研磨头上滑落，提高了检测结果的可靠性，避免了在晶圆滑落后因...
该专利属于合肥晶合集成电路股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥晶合集成电路股份有限公司授权不得商用。

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