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本实用新型涉及一种检测设备的基板搬运机构，用于搬运基板，包括：机械手；吸嘴组件，用于取放所述基板；以及缓冲组件，安装在所述机械手和所述吸嘴组件之间；其中，所述缓冲组件被配置成在所述吸嘴组件与所述基板接触时，提供缓冲的反作用力。供缓冲的反作用...
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