温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及定位装置领域，公开了一种晶圆片切割定位装置，包括用于放置晶圆料片的支撑盘，支撑盘上可拆卸地设置有至少两个用于限制晶圆料片位置的定位圈。若干个定位圈通过连接块连为一体，且沿支撑盘的中心等间距设置。定位圈内的支撑盘上设置有若干气孔...
该专利属于厦门陆远科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过厦门陆远科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。