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本实用新型公开一种蚀刻装置,包括输送机构和至少一个喷淋机构,输送机构具有用于承载并输送玻璃基板的输送面,输送面与水平面呈夹角,喷淋机构包括两个喷淋管,喷淋管包括管本体和若干喷嘴,喷嘴间隔设置在管本体上且朝向所述输送面,蚀刻液从喷嘴喷出,喷淋...该专利属于乐金显示光电科技(中国)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过乐金显示光电科技(中国)有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开一种蚀刻装置,包括输送机构和至少一个喷淋机构,输送机构具有用于承载并输送玻璃基板的输送面,输送面与水平面呈夹角,喷淋机构包括两个喷淋管,喷淋管包括管本体和若干喷嘴,喷嘴间隔设置在管本体上且朝向所述输送面,蚀刻液从喷嘴喷出,喷淋...