下载加热装置和真空镀膜设备的技术资料

文档序号:31190118

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本实用新型的实施例提供了一种加热装置和真空镀膜设备,加热装置包括:加热腔体,其内适于传送待加热件;第一加热件,位于待加热件的上方和/或下方;以及至少两个第二加热件,位于待加热件的传送方向的两侧。从而有效降低待加热件端部与中心部位的温差,实现...
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