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本实用新型属于检测装置技术领域，尤其为一种晶托表面平整度的检测装置，包括模组固定底板，所述模组固定底板的底部安装有前后移动模组，所述前后移动模组的一侧壁固定有前后移动伺服电机，所述前后移动模组的底部设置有左右移动伺服电机，所述左右移动伺服电...
该专利属于无锡展照精密机械科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡展照精密机械科技有限公司授权不得商用。

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