一种晶托表面平整度的检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于检测装置技术领域，尤其为一种晶托表面平整度的检测装置，包括模组固定底板，所述模组固定底板的底部安装有前后移动模组，所述前后移动模组的一侧壁固定有前后移动伺服电机，所述前后移动模组的底部设置有左右移动伺服电机，所述左右移动伺服电机的输出轴连接有左右移动模组，所述左右移动模组的顶部与前后移动模组的底部固定连接。本实用新型专利技术通过设置前后移动模组和左右移动模组，使激光检测仪能够进行前后、左右移动，方便了对晶托进行检测，通过设置移载升降气缸和移载前后移动气缸，当检测晶托被检测出异常后，可以使被检测出的异常晶托自动放回流水线上，不会伴随无异常的晶托进入下一环节。无异常的晶托进入下一环节。无异常的晶托进入下一环节。

【技术实现步骤摘要】
一种晶托表面平整度的检测装置


[0001]本技术涉及检测装置
，具体为一种晶托表面平整度的检测装置。

技术介绍

[0002]晶托是由大量微观物质单位按照一定规则有序排列的结构，晶托可以从结构单位的大小来研究判断排列规则和晶托的形态，晶托按其结构粒子和作用力的不同可分为离子晶托、原子晶托、分子晶托、和金属晶托，晶托具有整齐规则的几何外形、固定熔点、和各向异性的固态物质，是物质存在的一种基本形式。
[0003]当晶托生产成型后，需要对晶托表面的平整度进行检测，但目前的检测装置一般采用固定的方式对晶托进行检测，当对一些较大的晶托进行检测时，可能需要多次进行检测，检测比较不便，同时目前的检测装置检测出异常的晶托后不具备使使晶托自动放回流水线上的功能，因此我们提出了一种晶托表面平整度的检测装置。

技术实现思路

[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种晶托表面平整度的检测装置，解决了上述
技术介绍
中所提出的问题。
[0006](二)技术方案。
[0007]本技术为了实本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶托表面平整度的检测装置，其特征在于：包括模组固定底板(1)，所述模组固定底板(1)的底部安装有前后移动模组(2)，所述前后移动模组(2)的一侧壁固定有前后移动伺服电机(3)，所述前后移动模组(2)的底部设置有左右移动伺服电机(4)，所述左右移动伺服电机(4)的输出轴连接有左右移动模组(5)，所述左右移动模组(5)的顶部与前后移动模组(2)的底部固定连接，所述模组固定底板(1)的一侧对称设置有两个移载升降气缸(6)，两个所述移载升降气缸(6)的之间设置有移载前后移动气缸(7)，所述左右移动模组(5)的底部安装有...

【专利技术属性】
技术研发人员：李磊，
申请(专利权)人：无锡展照精密机械科技有限公司，
类型：新型
国别省市：