下载一种GaN器件的制作方法以及一种GaN器件的技术资料

文档序号:31168000

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本发明涉及一种GaN器件的制作方法以及一种GaN器件。本发明所述的GaN器件的制作方法包括:提供半导体衬底;在半导体衬底上生长一层缓冲层;在所述缓冲层上生长一层第一GaN层;在所述第一GaN层上生长一层AlGaN层;在所述AlGaN层上再生...
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