下载氧化钛掺杂旋涂玻璃固化装置的技术资料

文档序号:31160831

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开一种氧化钛掺杂旋涂玻璃固化装置,包括反应炉,反应炉为反向石英双炉管设计,反应炉的上端开设有石英分隔板,石英分隔板将反应炉的内外双石英管分为内通道和外通道,内通道上设置有第一进气口和第二进气口,外通道上设置有出气口,反应炉的顶端设置...
该专利属于达高工业技术研究院(广州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过达高工业技术研究院(广州)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。