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本发明公开了可大幅度调节冷却能力的晶圆加热器，包括上板，上板内孔顶面嵌设有铠装加热管，上板中部设置有测温热电偶；所述上板内孔里从上向下依次设置有盖板、冷却板和支撑轴；支撑轴上轴肩A卡设在上板下端，下轴肩B端面均匀设置有多个导向块；冷却板包括...
该专利属于靖江先锋半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过靖江先锋半导体科技有限公司授权不得商用。

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