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使用可在不同温度下移除的材料形成电子装置的方法制造方法及图纸
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下载使用可在不同温度下移除的材料形成电子装置的方法的技术资料
文档序号:31158779
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本申请案涉及使用可在不同温度下移除的材料形成电子装置的方法。一种方法包括形成包括交替的第一材料和第二材料的堆叠前体,所述第一材料与所述第二材料展现不同熔点。移除所述交替的第一材料和第二材料的一部分以形成穿过所述交替的第一材料和第二材料的柱状...
该专利属于美光科技公司所有,仅供学习研究参考,未经过美光科技公司授权不得商用。
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