下载一种用于芯片加工的具有防脱落功能的拾取设备的技术资料

文档序号:31157216

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本发明涉及半导体加工技术领域,尤其涉及一种用于芯片加工的具有防脱落功能的拾取设备。其技术方案包括:壳体、底板、夹持组件和排气管,壳体的底部通过螺栓与底板固定连接,壳体的底部两侧安装有夹持组件,夹持组件内安装有安装架,安装架的一端通过轴栓与轴...
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