下载半导体结构及其形成方法的技术资料

文档序号:31154847

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种半导体结构及其形成方法,形成方法包括:在待刻蚀层上形成沿第一方向延伸的核心层;在核心层侧壁形成第一侧墙;形成沿第一方向延伸的牺牲层,牺牲层与核心层沿第二方向间隔排列,第二方向垂直于第一方向,牺牲层顶面高于核心层顶面,牺牲层低于核心层顶面...
该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。