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本实用新型公布了微调机用石墨板分流装置，属于晶片加工领域，包括基座，所述基座的上侧面上设置开口向上的放置区域，所述放置区域内安装石墨板，所述石墨板为整体式；所述放置区域的底面上设置向下的凹陷的凹槽，所述凹槽内连通气源，所述凹槽的侧面上还设置...
该专利属于湖南国创同芯科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖南国创同芯科技有限公司授权不得商用。

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