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一种用于托卡马克装置磁测量的金属霍尔探测器制造方法及图纸
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下载一种用于托卡马克装置磁测量的金属霍尔探测器的技术资料
文档序号:31097509
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本实用新型提供了一种用于托卡马克装置磁测量的金属霍尔探测器,涉及空间尺寸在微米量级的磁场测量技术领域,包括基底,所述基底表层设有铜引线层和金属敏感层;所述铜引线层和基底上均带有多个铜引线穿孔,所述金属敏感层由金属沉积在基底上形成,所述金属敏...
该专利属于核工业西南物理研究院所有,仅供学习研究参考,未经过核工业西南物理研究院授权不得商用。
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