一种用于托卡马克装置磁测量的金属霍尔探测器制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种用于托卡马克装置磁测量的金属霍尔探测器，涉及空间尺寸在微米量级的磁场测量技术领域，包括基底，所述基底表层设有铜引线层和金属敏感层；所述铜引线层和基底上均带有多个铜引线穿孔，所述金属敏感层由金属沉积在基底上形成，所述金属敏感层连接铜引线层用于测量磁场。采用本方案，能够避免聚变实验研究装置上传统磁测量使用积分器带来的累积误差，具有纳米级别的沉积厚度和毫米级尺寸，极大的改善了由于尺寸大带来的空间分辨率低的问题，有效提高了磁场测量的精度和可靠性。可靠性。可靠性。

【技术实现步骤摘要】
一种用于托卡马克装置磁测量的金属霍尔探测器


[0001]本技术涉及空间尺寸在微米量级的磁场测量
，具体涉及一种用于托卡马克装置磁测量的金属霍尔探测器。

技术介绍

[0002]在聚变托卡马克控制运行中，磁测量系统是磁约束聚变装置运行以及等离子体分析的最基本和最重要的诊断系统。现有传统磁测量基于线圈的感应探测器与积分器相结合的方法。积分器运放的输入失调电压和失调电流会带来积分漂移以及外部的电磁干扰和辐射效应，在输入脉冲持续时间延长的情况下，会使积分器累积误差，其极大地影响了磁测量的精确程度。传统磁测量(磁探针)同时受到空间的限制，在偏滤器附近磁场小的情况下，需要增大探针尺寸从而增大有效面积来进行测量，导致探测器安装困难和空间的分辨率低等问题。因此急需具有更高的辐射硬度、耐高温性能、频率响应宽、空间分辨率高并且不需要积分器的金属霍尔探测器成为磁测量的新选择。

技术实现思路

[0003]本技术为解决上述问题，提供了一种用于托卡马克装置磁测量的金属霍尔探测器，采用本方案，能够避免聚变实验研究装置上传统磁测量使用积分器带来的累积误差，具有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于托卡马克装置磁测量的金属霍尔探测器，包括基底(1)，其特征在于，所述基底(1)表层设有铜引线层(2)和金属敏感层(3)；所述铜引线层(2)和基底(1)上均带有多个铜引线连接孔，所述金属敏感层(3)由金属沉积在基底(1)上形成，所述金属敏感层(3)连接铜引线层(2)用于测量磁场。2.根据权利要求1所述的一种用于托卡马克装置磁测量的金属霍尔探测器，其特征在于，所述金属敏感层(3)采用薄膜沉积金属铋，在基底(1)上形成纳米级别且均匀致密的金属铋薄膜。3.根据权利要求1所述的一种用于托卡马克装置磁测量的金属霍尔探测器，其特征在于，采用金属敏感层工装(5)固定于基底(1)表层，采用磁控溅射仪将金属沉积在基底(1)上。4.根据权利要求1所述的一种用于托卡马克装置磁测量的金属霍尔探测器，其特征在于，还包括二氧化硅涂层(4)，所述二氧化硅涂层(4)用于将金属敏感层(3)表面封装。5.根据权利要求1所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：王傲，季小全，孙腾飞，梁绍勇，张均钊，崔步天，
申请(专利权)人：核工业西南物理研究院，
类型：新型
国别省市：