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公开了一种用于晶圆检测的补正装置，包括安装底板、多个XYθ轴导向模组、驱动装置和载台组件，载台组件可旋转地设置于安装底板上，多个XYθ轴导向模组设置于安装底板与载台组件之间并均布于载台组件的旋转轴所处的圆上，XYθ轴导向模组自下而上包括导向...
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