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本发明公开了一种薄膜电阻结构、其制备方法及应用。所述薄膜电阻结构包括两个图形化薄膜电阻，两个所述图形化薄膜电阻相互配合形成嵌套结构，并且两个图形化薄膜电阻之间无电性连接，各自构成一个独立的温度敏感单元。采用本发明中的薄膜电阻结构制备而成的薄...
该专利属于江西省纳米技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过江西省纳米技术研究院授权不得商用。

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