下载MTJ器件及其制作方法以及MRAM的技术资料

文档序号:31089460

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本发明提供了一种MTJ器件及其制作方法以及MRAM,该MTJ器件包括:衬底;设置在所述衬底上的叠层结构,所述叠层结构具有多层依次层叠的功能层;所述叠层结构包括:第一部分MTJ、第二部分MTJ和第三部分MTJ;所述第一部分MTJ中任一所述功能...
该专利属于澳芯集成电路技术(广东)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过澳芯集成电路技术(广东)有限公司授权不得商用。

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