下载多层多芯片扇出型三维集成封装方法及结构的技术资料

文档序号:31088125

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本发明涉及一种多层多芯片扇出型三维集成封装方法及结构。其包括如下步骤:步骤1、提供临时键合载板,并设置载板互连金属布线层;步骤2、在所述载板互连金属布线层上制备得到所需的底层塑封单元体;步骤3、在上述底层塑封单元体上制备若干层叠分布的层叠塑...
该专利属于中国电子科技集团公司第五十八研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第五十八研究所授权不得商用。

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