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本发明涉及晶圆加工设备技术领域，具体涉及单片式射频等离子扫胶设备，包括设备主体，其设备主体上主要包括片盒放置机构、晶圆搬运机器人、圆片校正机构和真空反应腔体系统；扫胶设备工作时，首先将装有圆片的片盒放置在片盒放置机构上，由晶圆搬运机器人将圆...
该专利属于无锡奥威赢科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡奥威赢科技有限公司授权不得商用。

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