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本发明提供适配于无尘真空车间的微型电子巡检系统及其巡检设备，涉及无尘加工技术领域，包括车间主体和栓接固定在车间主体顶部的自走轨道，所述自走轨道的表面活动设置有空中检测模块，底部采用触点，可以实现充电、信号收发等电性连接，从而更便于电路的设计...
该专利属于深圳市慧旺电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市慧旺电子有限公司授权不得商用。

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