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一种无结型自耗尽晶体管及其制备方法技术
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文档序号:31087167
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本申请涉及晶体管领域,公开了一种无结型自耗尽晶体管及其制备方法,其中,所述器件包括衬底、外延层、与外延层掺杂类型相同的第一多晶硅层、与外延层掺杂类型相反的第二多晶硅层、源极层、第一金属层、第二金属层和绝缘材料;所述器件的制备方法包括:在衬底...
该专利属于深圳真茂佳半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳真茂佳半导体有限公司授权不得商用。
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