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本发明提供一种桁架结构尺寸稳定性测量装置，包括隔振平台、待测板框、基准板框、激光器、测量镜组件和分光系统；待测板框和基准板框平行且相对布置，隔振平台分别与待测板框、基准板垂直固定连接；激光器入射分光系统提供初始激光束；分光系统设置在隔振平台...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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