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一种具有可控磁各向异性的磁性颗粒薄膜及其制备方法，涉及一种在高频通讯芯片中用于集成电感器件的纳米颗粒型磁性薄膜及其制备工艺。本发明使用非连续多层膜交替磁控溅射法，得到玻莫合金－ＳｉＯ↓［２］磁性纳米颗粒薄膜，所述的玻莫合金在薄膜中的体积分数...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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