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非晶态高掺杂Co*Ti*-*O*铁磁性半导体薄膜的制备方法技术
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文档序号:3108287
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一种非晶态高掺杂Co↓[x]Ti↓[1-x]O↓[2]铁磁性半导体薄膜及其制备方法,属于自旋电子材料技术领域。在真空系统中,应用组分交替沉积的办法,获得均匀的无定形的非晶态相,Co和Ti之间的掺杂固溶度可达到30~56%。交替周期数为50~...
该专利属于山东大学所有,仅供学习研究参考,未经过山东大学授权不得商用。
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