下载吹扫喷嘴组件和包括该吹扫喷嘴组件的半导体处理组件的技术资料

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一种吹扫喷嘴组件(10)包括吹扫喷嘴主体(12),其包括入口开口(14)和出口开口(16)。出口开口(16)通向吹扫喷嘴接触表面(18)。另外,吹扫喷嘴组件包括安装主体(20),用于将吹扫喷嘴组件(10)连接到外部框架构件。机械联接机构可移...
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