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片材制作装置以及片材制作方法制造方法及图纸
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文档序号:31080159
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本公开提供片材制作装置以及片材制作方法,片材制作装置(1)将涂覆材料涂覆到片材材料(11)来制作多层片材。片材制作装置(1)具备:放射光源,射出放射光;分割部,将放射光分割成入射到多层片材的测定光和照射到参照面的参照光;和光学部件,向多层片...
该专利属于松下知识产权经营株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过松下知识产权经营株式会社授权不得商用。
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