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本发明实施例公开了一种体声波谐振结构及其制造方法，其中，所述体声波谐振结构包括：衬底；依次层叠于衬底上的第一电极层、反射结构、压电层和第二电极层；其中，所述压电层中设置有环状的凹槽；所述凹槽处于有源区内，且靠近所述有源区的边缘。近所述有源区...
该专利属于武汉衍熙微器件有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉衍熙微器件有限公司授权不得商用。

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