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本发明涉及光刻机技术领域，更具体地说，它涉及一种光刻机上台面板位置调节方法以及应用该调节方法的调节机构和光刻机，其中，上述的上台面板位置调节方法包括以下步骤：分别测量上台面板的各个角与光刻机下台面板之间的距离；以上台面板的一个角与下台面板之...
该专利属于东莞王氏港建机械有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞王氏港建机械有限公司授权不得商用。

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