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一种微电子技术领域的非晶ＦｅＣｕＮｂＣｒＳｉＢ薄膜螺线管微电感器件，包括：衬底、引脚、线圈、磁芯、聚酰亚胺绝缘材料，闭合的矩形磁芯上对称绕制两组相连的三维立体螺线管线圈，线圈以衬底为基础，由底层线圈、顶层线圈通过连接导体连接形成，线圈的两端...
该专利属于上海交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学授权不得商用。

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