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温控特性测试装置制造方法及图纸
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下载温控特性测试装置的技术资料
文档序号:31073000
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本申请涉及测试装置技术领域,具体公开了一种温控特性测试装置,该温控特性测试装置,包括:载台;加热件,设置于载台的一侧,且与载台构成热传递,温度传感器,与载台相接触;控制电路,分别与温度传感器及加热件构成电连接,控制电路接收温度传感器所采集的...
该专利属于深圳第三代半导体研究院所有,仅供学习研究参考,未经过深圳第三代半导体研究院授权不得商用。
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