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本实用新型公开了一种芯片蓝膜扩晶辅助装置，涉及芯片扩晶技术领域，包括主机架、限位环、电控吸盘、引风机，主机架上表面固定设有扩晶板，主机架上表面固定设有环绕扩晶板的支撑环，支撑环贯穿主机架密闭连接有对称的进风管，进风管内固定设有引风机，主机架...
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