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本实用新型公开了一种基板清洗输送装置，包括机架、基片吊装工装、桁架机械手，所述机架的左右两侧分别设置有出料位、进料位，所述机架的内部上方设置有二维运输机构，且内部下方设置有清洗机构，所述二维运输机构包括X轴运动机构、Z轴运动机构，所述X轴运...
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