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本实用新型公开了一种晶圆覆膜装置，涉及芯片加工技术领域，具体为包括固定底板，固定底板的上表面固定连接有支撑板，支撑板的顶端固定连接有连接块，连接块的顶端固定连接有电动液压推杆，电动液压推杆的活动端固定连接有固定块，固定块的一侧插接有支撑轴，...
该专利属于河南通用智能装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河南通用智能装备有限公司授权不得商用。

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