下载一种半导体晶圆双膜用具有预报定位机构的切膜装置的技术资料

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本实用新型涉及半导体晶圆双膜加工的技术领域,特别是涉及一种半导体晶圆双膜用具有预报定位机构的切膜装置,其通过设置此设备,可以自动对半导体晶圆进行定位切割,提高设备的稳定性,从而提高了半导体晶圆的切割效果和精度,提高其实用性;包括固定架、固定...
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