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本申请提供了一种激光加工装置及晶圆加工设备，激光加工装置包括第一激光光源、锥透镜、聚焦镜、第一振镜、第二振镜和聚焦场镜，第一激光光源用于发出第一激光，沿着第一激光的出光光路依次设置有锥透镜、聚焦镜、第一振镜，第二振镜和聚焦场镜；锥透镜用于将...
该专利属于曾宪方所有，仅供学习研究参考，未经过曾宪方授权不得商用。

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