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本实用新型涉及一种二分之一硅片置中装置，包括第一定位部、第二定位部、第三定位部和第四定位部，所述第一定位部和第二定位部能够同步移动,所述第三定位部和第四定位部能够同步移动,当所述第一、三定位部相向移动对第一组二分之一硅片进行定位时，所述第二...
该专利属于罗博特科智能科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗博特科智能科技股份有限公司授权不得商用。

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