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本实用新型公开了一种12寸晶圆化学气相淀积氮化钛腔体颗粒改善套件，具体涉及工艺腔体技术领域，包括排气管，所述排气管的数量为若干个，相邻的两个所述排气管之间通过法兰固定连接，所述排气管的内壁设有套筒组件。上述方案中，通过设置所述干泵的FORL...
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