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一种柔性基体薄膜镍电阻传感器,包括基片、附在基片上的电阻线、焊接盘,采用在耐高温聚酰亚胺薄膜基片上,用真空蒸发Ni膜的方法制得导电层后,再用电化学方法加厚Ni膜,用光刻方法制成电阻器图案,经过再次用电化学方法调整阻值、涂覆保护层、固化和老化...该专利属于杭州精诚光电子有限公司;朱精敏所有,仅供学习研究参考,未经过杭州精诚光电子有限公司;朱精敏授权不得商用。
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一种柔性基体薄膜镍电阻传感器,包括基片、附在基片上的电阻线、焊接盘,采用在耐高温聚酰亚胺薄膜基片上,用真空蒸发Ni膜的方法制得导电层后,再用电化学方法加厚Ni膜,用光刻方法制成电阻器图案,经过再次用电化学方法调整阻值、涂覆保护层、固化和老化...