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本发明公开了一种基于ｃ轴取向柱状氧化锌薄膜的低压薄膜压敏电阻器，它是绝缘基底上面沉积的金属电极－氧化锌薄膜－金属电极单元；氧化锌薄膜为高度ｃ轴取向的柱状晶体膜。本发明的低压氧化锌压敏电阻器具有制作工艺简单，阈值电压低，重复性好，工艺可控性强...
该专利属于杭州电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过杭州电子科技大学授权不得商用。

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